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薄膜沉積丨原子層沉積（ALD） 技術(shù)原理及應(yīng)用

什么是原子層沉積（ALD）？ 原子層沉積 (Atomic Layer Deposition, ALD)是一種基于化學(xué)氣相沉積 (CVD) 的高精度 薄膜沉積 技術(shù)，是將物質(zhì)材料以單原子膜的形式基于化學(xué)...

2022-12-28